X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

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megacam
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X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Mensaje sin leer por megacam » Octubre 14th, 2009, 9:30 am

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Las escalas involucradas en la fabricación de semiconductores y microelectrónica moderna siguen caída. Caracterización eficaz y precisa de los materiales con espesores por debajo de unos pocos nanómetros se puede conseguir con rayos-x. Mientras que muchos libros están disponibles en la teoría detrás de la metrología de rayos-x (XRM), X-Ray en metrología de fabricación de semiconductores es el primer libro para centrarse en los aspectos prácticos de la tecnología y su aplicación en la fabricación de dispositivos y nuevos materiales de la solución de problemas.

Tras una visión general del campo, la primera sección del libro está organizado por la aplicación y se esbozan las técnicas que mejor se adapten a cada uno. La siguiente sección profundiza en las técnicas y la teoría detrás de las aplicaciones, tales como la reflectividad especular de rayos X, las imágenes de difracción, y la cartografía de defectos. Por último, la tercera sección ofrece detalles tecnológicos de cada técnica, responder a las preguntas habituales en la práctica. Los autores de suministro ejemplos reales de las cifras de los semiconductores y la industria de grabación magnética, así como más de 150 claramente definida para ilustrar el debate. También se resumen los principios y la información clave acerca de cada método con recuadros en todo el texto.

Escrito por líderes mundiales en el campo, X-Ray Metrología en Semiconductor Manufacturing ofrece soluciones reales con un enfoque en la precisión, la repetibilidad, y el rendimiento.


http://rapidshare.com/files/56345860/0088170907.rar

morpheuzcrt
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Re: X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Mensaje sin leer por morpheuzcrt » Agosto 30th, 2012, 4:04 am

Hola, ando buscando este libro, sobre todo me interesa el capitulo 11, saben donde lo puedo encontrar?, gracias

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vt[fybr
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Re: X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Mensaje sin leer por vt[fybr » Agosto 30th, 2012, 7:54 am

Hola!

Puedes leer el libro y también descargarlos desde:
http://bookfi.org/book/497623

Para hacerlo tienes que hacer lo siguiente:
Debajo de la introducción en inglés hay dos barras celestes, en una de ellas escrito "СКАЧАТЬ (pdf, 10.48Mb)" ese es el botón para descargar, ojo que yo no lo he intentado, solo he encontrado el enlace.
El segundo botón celeste es para ver el libro completo en línea. El enlace directo para verlo en línea es:
http://bookre.org/reader?file=497623&pg=2

Saludos.

morpheuzcrt
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Re: X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Mensaje sin leer por morpheuzcrt » Septiembre 5th, 2012, 3:26 am

Muchas gracias!!! Descargando!!

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